Prensip k ap travay ak aplikasyon pou mikroskopi fòs atomik
Mikwoskòp fòs atomik se yon mikwoskòp pwofonde optik devlope ki baze sou prensip debaz yo nan mikwoskòp optik tinèl. Aparisyon nan mikwoskòp fòs atomik san dout te jwe yon wòl kondwi nan devlopman nan nanoteknoloji. Mikwoskòp sond eskanè, ki reprezante pa mikwoskòp fòs atomik, se yon seri mikwoskòp ki sèvi ak yon ti sond pou eskane sifas yon echantiyon, bay obsèvasyon gwo agrandisman. Fòs atomik mikroskopi optik ka bay enfòmasyon sou eta sifas divès kalite echantiyon. Konpare ak mikwoskòp konvansyonèl yo, avantaj nan mikwoskòp fòs atomik se ke li ka obsève sifas echantiyon yo nan gwo agrandisman nan kondisyon atmosferik, epi yo ka itilize pou prèske tout echantiyon (ak sèten kondisyon pou lis sifas), san yo pa bezwen pou lòt tretman preparasyon echantiyon, jwenn imaj mòfoloji ki genyen twa dimansyon nan sifas echantiyon an. Epi li ka fè kalkil brutality, epesè, lajè etap, dyagram blòk oswa analiz gwosè patikil sou imaj mòfoloji ki genyen twa dimansyon yo jwenn nan optik.
Mikwoskopi fòs atomik ka detekte anpil echantiyon, bay done pou rechèch sifas ak kontwòl pwodiksyon oswa devlopman pwosesis, ki
pa ka bay mèt konvansyonèl sifas eskanè brutality ak mikwoskòp elèktron.
1, Prensip debaz yo
Mikwoskopi fòs atomik sèvi ak fòs entèraksyon (fòs atomik) ant sifas yon echantiyon ak pwent yon sond amann pou mezire mòfoloji sifas la.
Pwent ankèt la se sou yon ti cantilever fleksib, epi entèraksyon an ki te pwodwi lè sond la kontakte sifas echantiyon an detekte nan fòm lan nan devyasyon cantilever. Distans ki genyen ant sifas echantiyon an ak pwofonde a se mwens pase 3-4nm, ak fòs la detekte ant yo se mwens pase 10-8N. Se limyè ki soti nan dyod lazè a konsantre sou do a nan cantilever la. Lè cantilever a pliye anba aksyon fòs la, limyè reflete a detounen, epi yo itilize yon fotodetektè pozisyon sansib pou detounen ang lan. Lè sa a, done yo kolekte yo trete pa yon òdinatè pou jwenn yon imaj ki genyen twa dimansyon nan sifas echantiyon an.
Yo mete yon pwofonde konplè sou sifas echantiyon an ki kontwole pa yon eskanè piezoelectric epi tcheke nan twa direksyon ak yon lajè etap 0.1 nm oswa mwens nan presizyon orizontal. Anjeneral, lè eskanè sifas echantiyon an an detay (aks XY), aks Z ki kontwole pa fidbak deplasman nan cantilever a rete fiks ak chanje. Valè Z-aks ki bay fidbak sou repons optik la se antre nan òdinatè a pou trete, sa ki lakòz yon imaj obsèvasyon (imaj 3D) nan sifas echantiyon an.
Karakteristik Mikwoskopi fòs atomik
1. Kapasite segondè-rezolisyon an byen lwen depase sa yo ki nan optik mikwoskòp elèktron (SEM) ak mèt optik brutality. Done ki genyen twa dimansyon sou sifas echantiyon an satisfè egzijans de pli zan pli mikwoskopik rechèch, pwodiksyon, ak enspeksyon kalite.
2. Ki pa destriktif, fòs entèraksyon ant pwofonde a ak sifas echantiyon an se pi ba pase 10-8N, ki pi ba anpil pase presyon tradisyonèl mèt brutality stylus. Se poutèt sa, li pa pral domaje echantiyon an epi pa gen okenn pwoblèm domaj gwo bout bwa elektwon nan optik mikroskopi elektwonik. Anplis de sa, optik mikwoskòp elèktron mande tretman kouch sou echantiyon ki pa kondiktif, pandan y ap mikwoskospi fòs atomik pa fè sa.
3. Li gen yon pakèt aplikasyon epi yo ka itilize pou obsèvasyon sifas, mezi gwosè, mezi brutality sifas, analiz gwosè patikil, pwosesis estatistik nan protrusions ak twou, evalyasyon kondisyon fòmasyon fim, mezi etap gwosè nan kouch pwoteksyon, evalyasyon flatness nan fim izolasyon interlayer, evalyasyon kouch VCD, evalyasyon nan friksyon fim tretman pwosesis analiz, elatriye.
4. Lojisyèl la gen kapasite pwosesis fò, ak gwosè ekspozisyon imaj 3D li yo, ang gade, koulè ekspozisyon, ak enteprete yo ka mete lib. Ak rezo, liy kontou, ak ekspozisyon liy ka chwazi. Macro jesyon nan pwosesis imaj, analiz de fòm kwa-seksyonèl ak brutality, analiz mòfoloji, ak lòt fonksyon.
