Ki faktè ki gen yon enpak sou rezolisyon yon mikwoskòp elèktron transmisyon?
A. Ensidan elèktron gwo bout bwa tach dyamèt: limit la nan pouvwa a rezoud nan SEM la. Anjeneral, dyamèt tach minimòm nan zam elèktron katod cho ka redwi a 6nm, ak zam elèktron emisyon jaden ka fè dyamèt tach la mwens pase 3nm.
B. Efè ekspansyon gwo bout bwa elèktron ensidan an nan echantiyon an: degre difizyon depann sou enèji elektwon gwo bout bwa ensidan an ak nimewo atomik echantiyon an. Pi wo enèji nan gwo bout bwa a ensidan ak pi ba nimewo atomik echantiyon an, se pi gwo volim nan gwo bout bwa a elèktron, se pi gwo zòn nan nan siyal la ki te pwodwi ak difizyon nan gwo bout bwa a elèktron, kidonk diminye rezolisyon an.
C. D 'metòd ak siyal la modulation itilize: lè segondè siyal la modulation elèktron, akòz enèji ki ba li yo (mwens pase 50 eV), ranje a gratis mwayèn se kout (10 ~ 100 nm oswa konsa), sèlman nan kouch sifas la nan ranje pwofondè 50 ~ 100 nm nan elektwon segondè yo ka chape soti nan sifas echantiyon an, ensidan an nan kantite gaye se trè limite, fondamantalman pa t 'agrandi lateralman, se konsa rezolisyon an nan imaj la elèktron segondè se apeprè egal a gwo bout bwa a. dyamèt tach. Lè yo itilize elektwon yo backscattered kòm siyal modulation, elektwon yo backscatered ka chape soti nan rejyon an pi fon nan echantiyon an (apeprè 30% nan pwofondè efikas la) akòz gwo enèji yo ak kapasite penetrasyon. Nan ranje pwofondè sa a, elektwon yo ensidan yo te byen lajè ekspansyon lateral, kidonk rezolisyon imaj elèktron backscatered pi ba pase imaj segondè elèktron, jeneralman nan 500 ~ 2000nm oswa konsa. Si absòpsyon nan elektwon, radyografi, katodoluminesans, konduktivite gwo bout bwa deteksyon oswa potansyèl kòm yon siyal modulasyon nan lòt mòd operasyon, akòz siyal ki soti nan tout rejyon an gaye gwo bout bwa elèktron, imaj la optik ki kapab lakòz rezolisyon an relativman ba, jeneralman nan l,000 nm oswa l,000 nm oswa plis pase varye.
