1. Agrandisman
Kontrèman ak mikwoskòp optik òdinè, nan SEM, agrandisman an kontwole pa kontwole gwosè 3-zòn eskanè a. Si pi wo agrandisman nesesè, jis eskane yon zòn ki pi piti. Agrandisman an jwenn lè w divize zòn ekran/foto a pa zòn eskanè a. Se poutèt sa, nan SEM, lantiy la pa gen anyen fè ak agrandisman.
2. Pwofondè jaden
Nan SEM, pwen echantiyon yo sitiye nan yon ti zòn kouch anwo ak anba avyon fokal la ka byen konsantre ak imaj. Yo rele epesè ti kouch sa a pwofondè jaden e li anjeneral kèk nanomèt epè, kidonk SEM ka itilize pou D '3D nan echantiyon nano echèl.
3. Volim aksyon
Gwo bout bwa a elèktron pa sèlman reyaji ak atòm yo sou sifas echantiyon an, li aktyèlman reyaji ak atòm yo nan echantiyon an nan yon seri epesè sèten, kidonk gen yon entèraksyon "volim". Epesè volim aksyon an varye selon siyal la:
Ou Ge Elektwonik: 0.5 ~ 2nm.
Elektwon segondè: 5A, pou kondiktè, λ=1 nm; pou izolan, λ=10 nm.
Elektwon backscatered: 10 fwa sa a nan elektwon segondè.
Karakteristik radyografi: echèl mikron.
X-ray kontinyòm: yon ti kras pi gwo pase reyon X karakteristik, tou sou echèl la mikromèt.
4. Travay distans
Distans travay refere a distans vètikal soti nan objektif la nan pwen ki pi wo nan echantiyon an.
Si distans k ap travay la ogmante, yo ka jwenn yon pi gwo pwofondè nan jaden anba kondisyon ke lòt kondisyon yo rete san okenn chanjman.
Si distans k ap travay la redwi, yo ka jwenn pi wo rezolisyon an menm jan an.
Distans k ap travay souvan itilize se ant 5mm ak 10mm.
5. D'
Elektwon segondè ak elektwon backscattered yo ka itilize pou D, lèt la se pa bon jan ansyen an, kidonk elektwon segondè yo anjeneral yo itilize.
6. Sifas analiz
Pwosesis jenerasyon elektwon Og, reyon X karakteristik, ak elektwon backscatered yo tout ki gen rapò ak pwopriyete atomik echantiyon yo, kidonk yo ka itilize pou analiz konpozisyon. Sepandan, depi gwo bout bwa a elèktron ka sèlman antre nan yon kouch trè fon nan sifas echantiyon an (al gade volim aksyon), li ka sèlman itilize pou analiz sifas yo.
Analiz X-ray karakteristik se analiz sifas ki pi souvan itilize, epi yo itilize de kalite detektè: analizè spectre enèji ak analizè spectre. Ansyen an se vit men li pa egzat, lèt la trè egzat epi li ka detekte prezans nan eleman tras men li pran twò lontan.
