Rapid enspeksyon semi -conducteurs lè l sèvi avèk diferan metòd obsèvasyon mikwoskòp
Enspeksyon semi -conducteurs nan gato grave ak sikwi entegre (ICS) pandan pwosesis pwodiksyon an se kritik pou idantifye ak diminye domaj. Yo nan lòd yo amelyore efikasite nan kontwòl kalite nan etap nan pwodiksyon bonè epi asire pèfòmans nan serye nan bato sikwi entegre, solisyon mikwoskòp yo ta dwe konbine avèk metòd obsèvasyon diferan bay enfòmasyon konplè ak egzat sou domaj diferan. Metòd yo obsèvasyon prezante isit la gen ladan jaden klere, jaden nwa, polarizasyon DIC, iltravyolèt, ekleraj oblik, ak enfrawouj. Yo entegre nan mikwoskòp pou deteksyon an ak devlopman nan gato ak sikwi entegre.
Ki jan endistri yo semi -conducteurs benefisye soti nan mikwoskòp
Solisyon mikwoskòp jwe yon wòl enpòtan nan deteksyon efikas ak serye, kontwòl kalite (QC), analiz fay (FA), ak rechèch ak devlopman (R&D) nan endistri a fabrikasyon semi -conducteurs.
Nan pwosesis manifakti semi -conducteurs, divès kalite domaj ka rive nan diferan etap, sa ki kapab afekte operasyon nòmal ekipman an. Pi bonè nan sa yo domaj yo dekouvri, pi bon an. Domaj sa yo ka koze pa patikil pousyè distribye owaza sou wafer la (domaj o aza), oswa pa mak, detachman, ak rezidi nan penti ak fotoresist ki te koze pa kondisyon pwosesis (tankou pandan grave), epi yo ka rive nan zòn espesifik nan wafer la. Akòz gwosè ti li yo, mikwoskòp yo se zouti ki pi pito pou idantifye domaj sa yo.
Espesyalman konpare ak mikwoskòp pi dousman ak pi chè tankou mikwoskòp elèktron (EM), mikwoskòp optik (OM) gen anpil avantaj. Akòz adaptabilite li yo ak fasilite nan itilize, mikwoskòp optik yo souvan itilize pou etid kalitatif ak quantitative nan domaj sou gato fè ak gato grave/trete, osi byen ke nan asanble a ak pwosesis anbalaj nan sikwi entegre (ICs).
Diferan metòd obsèvasyon mikroskopi optik, tankou jaden klere (BF), jaden nwa (DF), diferans entèferans diferans (DIC), polarizasyon (POL), iltravyolèt (UV), lumières oblik, ak enfrawouj (IR) limyè transmèt [{{0}], yo se yon ti kras.
