Prensip ak aplikasyon pou mikwoskospi elektwonik
Karakteristik nan SEM
Konpare ak mikwoskòp optik ak mikwoskòp elèktron transmisyon, mikwoskòp elèktron optik gen karakteristik sa yo:
(1) Estrikti sifas echantiyon an ka dirèkteman obsève, ak gwosè echantiyon an ka gwo tankou 120mm × 80mm × 50mm.
(2) Pwosesis preparasyon echantiyon an senp epi li pa bezwen koupe an tranch mens.
(3) Echantiyon an ka tradui ak vire toutotou nan yon espas ki genyen twa dimansyon nan chanm echantiyon an, kidonk echantiyon an ka obsève nan divès ang.
(4) Pwofondè jaden an gwo, epi imaj la plen ak twa dimansyon. Pwofondè jaden mikwoskòp elektwon optik la se dè santèn de fwa pi gwo pase mikwoskòp optik la ak plizyè douzèn fwa pi gwo pase mikwoskòp elèktron transmisyon an.
(5) Ranje agrandisman imaj la se lajè ak rezolisyon an relativman wo. Li ka agrandi dis fwa a dè santèn de milye de fwa, epi li fondamantalman gen ladan ranje agrandisman soti nan loup, mikwoskòp optik ak mikwoskòp elèktron transmisyon. Rezolisyon an se ant mikwoskòp optik ak mikwoskòp elèktron transmisyon, jiska 3nm.
(6) Domaj ak kontaminasyon echantiyon an pa gwo bout bwa elèktron yo relativman piti.
(7) Pandan ke yo obsève mòfoloji a, lòt siyal ki soti nan echantiyon an ka itilize tou pou analiz mikwo-konpozan.
Estrikti a ak prensip k ap travay nan optik mikwoskòp elèktron
1. lantiy barik
Barik lantiy la gen ladann zam elèktron, lantiy kondansateur, lantiy objektif ak sistèm optik. Fonksyon li se jenere yon gwo bout bwa elèktron trè mens (apeprè kèk nm an dyamèt), epi fè gwo bout bwa a elèktron eskane sifas echantiyon an, epi ansanm estimile divès siyal.
2. Koleksyon siyal elektwonik ak sistèm pwosesis
Nan chanm echantiyon an, gwo bout bwa elèktron optik la reyaji avèk echantiyon an pou jenere plizyè siyal, ki gen ladan elektwon segondè, elektwon backscattered, reyon X, elektwon absòbe, elektwon Auger, elatriye. Pami siyal ki anwo yo, sa ki pi enpòtan yo se elektwon segondè yo. , ki se elektwon yo deyò nan atòm echantiyon yo eksite pa elektwon yo ensidan, ki yo pwodwi nan zòn nan nan plizyè nm a dè dizèn de nm anba sifas echantiyon an, ak pousantaj jenerasyon an sitou depann sou mòfoloji ak konpozisyon echantiyon yo. Sa yo rele imaj elèktron optik la anjeneral refere a imaj elèktron segondè, ki se siyal elektwonik ki pi itil pou etidye mòfoloji sifas echantiyon an. Detektè a pou detekte elektwon segondè (sond la nan Figi 15 (2) se yon scintillator, lè elektwon yo frape scintillator a, 1 pral jenere limyè nan li, limyè sa a se transmèt nan tib la photomultiplier pa gid la limyè, ak siyal la limyè. Sa vle di, li konvèti nan yon siyal aktyèl, ak Lè sa a, atravè pre-anplifikasyon ak anplifikasyon videyo, siyal aktyèl la konvèti nan yon siyal vòltaj, epi finalman voye nan kadriyaj la nan tib la foto.
