Konbyen nanomèt yon mikwoskòp konfokal ka wè?
Objektif la nan syans materyèl se etidye enfliyans nan estrikti sifas yon materyèl sou pwopriyete sifas li yo. Se poutèt sa, analize topografi sifas la nan rezolisyon segondè enpòtan pou detèmine paramèt ki gen rapò ak brutality sifas, pwopriyete meditativ, pwopriyete tribolojik ak bon jan kalite sifas yo. Teknik konfokal yo kapab mezire materyèl ak yon varyete de pwopriyete meditativ sifas ak jwenn done mezi efikas.
Mikwoskòp konfokal lazè a, ki baze sou prensip teknoloji konfokal la, se yon enstriman enspeksyon pou mezi mikwo ak nano-echèl sou sifas divès kalite aparèy presizyon ak materyèl. Rezolisyon mezi segondè a rive nan 0.5nm.
Aplikasyon
1.MEMS
Mezi dimansyon nan eleman mikron ak sub-mikwon, obsèvasyon mòfoloji sifas apre divès pwosesis (devlope, grave, metalizasyon, CVD, PVD, CMP, elatriye), analiz defo.
2.Precision konpozan mekanik, aparèy elektwonik
Mezi dimansyon nan eleman mikron ak sub-mikwon, obsèvasyon mòfoloji sifas apre divès pwosesis tretman sifas, pwosesis soude, analiz defo, analiz patikil.
3.Semiconductor / LCD
Obsèvasyon topografi sifas apre plizyè pwosesis (devlopman, grave, metalizasyon, CVD, PVD, CMP, elatriye), analiz defo Mezi lajè liy ki pa kontak, pwofondè etap, elatriye.
4. Tribology, korozyon ak lòt jeni sifas yo
Mezi volim nan mak fwotman, mezi brutality, sifas topografi, korozyon ak sifas topografi apre jeni sifas submicron.
spesifikasyon teknik
Modèl: VT6100
Ranje konjesyon serebral: 100 * 100 * 100mm
Field of view range: 120 × 120 μm ~ 1.2 × 1.2 mm
Repetibilite mezi wotè (1σ): 12nm
Presizyon mezi wotè: ± (0.2+L/100) μm
Rezolisyon mezi wotè: 0.5 nm
Repetibilite mezi lajè (1σ): 40nm
Lajè Mezi Presizyon: ± 2%
Rezolisyon mezi lajè: 1nm
