1. Diferans estriktirèl
Li se sitou reflete nan pozisyon yo diferan nan echantiyon yo nan chemen an optik gwo bout bwa elèktron. Echantiyon TEM se nan mitan gwo bout bwa elèktron, sous elektwon an emèt elektwon pi wo pase echantiyon an, apre yo fin pase nan kondansasyon an, ak Lè sa a, penetrasyon echantiyon an, yon lantiy elektwomayetik swivi kontinye anplifye gwo bout bwa a elèktron, ak epifiz la. se projetée sou ekran fliyoresan an; echantiyon an nan SEM se nan gwo bout bwa a elèktron. Nan fen a, gwo bout bwa elèktron ki emèt pa sous elektrik la pi wo a echantiyon an redwi pa plizyè etap nan lantiy elektwomayetik ak rive nan echantiyon an. Natirèlman, estrikti a nan sistèm nan pwosesis deteksyon siyal ki vin apre yo pral diferan tou, men pa gen okenn diferans sibstansyèl an tèm de prensip fizik debaz yo.
2. Prensip debaz k ap travay
Mikwoskòp elèktron transmisyon: Lè gwo bout bwa a elèktron pase nan echantiyon an, li pral gaye ak atòm ki nan echantiyon an. Elektwon yo pase nan yon sèten pwen sou echantiyon an an menm tan yo nan diferan direksyon. Pwen sa a sou echantiyon an se ant 1-2 fwa distans fokal lantiy objektif la. Elektwon yo re-konvèje apre yo fin agrandi pa lantiy la objektif, fòme yon imaj reyèl agrandi nan pwen an, ki se menm bagay la kòm prensip la D nan lantiy la konvèks. Gen yon mekanis fòmasyon kontras isit la, ak teyori a pa diskite an pwofondè, men li ka imajine ke si enteryè echantiyon an se absoliman inifòm, san limit grenn jaden, ak san estrikti lasi atomik, Lè sa a, imaj la agrandi pa pral gen. nenpòt kontras. Kalite sibstans sa a pa egziste, kidonk gen yon rezon pou kalite enstriman sa a egziste. Mikwoskòp elèktron eskane: gwo bout bwa elèktron la rive nan echantiyon an, eksite elektwon segondè yo nan echantiyon an, epi detektè a resevwa elektwon segondè yo, atravè pwosesis siyal ak modulation emisyon limyè yon pixel sou ekspozisyon an, paske dyamèt elèktron la. tach gwo bout bwa a se nano-echèl, ak pixel ekspozisyon an se 100 Pi wo pase yon mikron, limyè ki emèt pa pixel sa a 100-mikwon-ak-pi wo a reprezante limyè ki emèt pa rejyon an sou echantiyon an ki eksite pa gwo bout bwa a elèktron. . Anplifikasyon pwen objè sa a sou echantiyon an reyalize. Si gwo bout bwa elèktron la analize nan yon zòn nan echantiyon an, klète piksèl ekspozisyon an ka modile youn pa youn nan aranjman jeyometrik la, epi D 'agrandi nan zòn echantiyon sa a ka reyalize.
3. Kondisyon pou echantiyon yo genyen
(1) Mikwoskòp elektwonik
Preparasyon echantiyon SEM pa gen okenn kondisyon espesyal sou epesè echantiyon an, epi li ka itilize metòd tankou koupe, fanm k'ap pile, polisaj oswa klivaj pou prezante yon seksyon espesifik, kidonk transfòme li nan yon sifas obsèvab. Si yon sifas konsa dirèkteman obsève, sèlman sifas pwosesis domaj ka wè. Anjeneral, diferan solisyon chimik yo dwe itilize pou grave preferansyèl pou pwodui yon kontras ki fezab pou obsèvasyon. Sepandan, korozyon pral lakòz echantiyon an pèdi yon pati nan eta a vre nan estrikti orijinal la, epi an menm tan an prezante kèk entèferans atifisyèl.
(2) Mikwoskòp elèktron transmisyon
Depi bon jan kalite a nan imaj la mikwoskopik jwenn pa TEM fòtman depann sou epesè nan echantiyon an, pati nan obsèvasyon nan echantiyon an ta dwe trè mens. Pou egzanp, echantiyon TEM nan yon aparèy memwa ka sèlman gen yon epesè nan 10-100 nm, ki pote gwo difikilte nan preparasyon echantiyon an TEM. difikilte. Nan pwosesis la nan preparasyon echantiyon, sede a nan fanm k'ap pile manyèl oswa kontwòl mekanik pou débutan se pa wo, epi echantiyon an pral elimine yon fwa li se twòp tè. Yon lòt pwoblèm nan preparasyon echantiyon TEM se pwezante pwen obsèvasyon yo. Preparasyon echantiyon jeneral ka sèlman jwenn yon seri obsèvasyon mens nan lòd la 10 mm. Lè yo mande pwezante ak analiz egzak, sib la souvan tonbe deyò ranje obsèvasyon an. Koulye a, solisyon ideyal la se sèvi ak konsantre ion gwo bout bwa grave (FIB).
