Aplikasyon mikwoskòp konfokal nan endistri semi-kondiktè
Nan pwosesis la nan gwo -echèl pwodiksyon semi-conducteurs, li nesesè depoze chips sikwi entegre sou wafer la, Lè sa a, divize yo an divès inite, epi finalman pake ak soude yo. Se poutèt sa, kontwòl egzak ak mezi gwosè wafer koupe Groove se yon lyen enpòtan nan pwosesis pwodiksyon an.
Mikwoskòp konfokal se yon aparèy deteksyon mikwoskopik lanse pa Zhongtu Instrument, lajman ki itilize nan manifakti semi-conducteurs ak pwosesis anbalaj. Li ka fè analiz ki pa-kontak epi rekonstwi twa-mòfoloji sifas karakteristik ak fòm konplèks ak siyon koupe lazè apik.
Mikwoskòp konfokal gen ekselan rezolisyon optik, ak atravè yon sistèm D klè, li ka obsève karakteristik sa yo nan sifas la wafer an detay, tankou si gen domaj tankou rupture kwen ak reyur sou sifas la wafer. Gwo kay won elektrik la ka otomatikman chanje ant diferan agrandisman objektif, ak lojisyèl an otomatikman kaptire kwen karakteristik pou mezi rapid de -dimansyon gwosè, kidonk pi efikasman detekte ak bon jan kalite kontwole sifas la wafer.
Nan pwosesis la nan lazè koupe wafers, pwezante egzak oblije asire ke genyen siyon ka koupe sou kontou ki kòrèk la sou wafer la. Se bon jan kalite a nan segmentasyon wafer anjeneral mezire pa pwofondè ak lajè nan genyen siyon yo koupe. Mikwoskòp konfokal seri VT6000, ki baze sou teknoloji konfokal ak ekipe ak modil optik gwo -vitès, gen lojisyèl analiz pwofesyonèl ki gen plizyè zòn ak fonksyon mezi otomatik. Li ka byen vit rekonstwi kontou twa -dimansyon renur lazè a nan wafer teste a epi fè analiz pwofil milti pou jwenn enfòmasyon sou pwofondè ak lajè kanal la nan seksyon an.
