Aplikasyon nan mikwoskòp nan endistri estratejik émergentes ki ap dirije
1. Aplikasyon an espesifik nan Leica mikwoskòp optik ak optik mikwoskòp elektwon nan ki ap dirije materyèl substra en (materyèl safi):
1. Entwodiksyon materyèl substrate safi
Paske safi gen bon izolasyon, pèt dielectric ki ba, rezistans tanperati ki wo ak rezistans korozyon. Bon konduktiviti tèmik, wo ase nan fòs mekanik. Epi yo ka trete nan yon sifas ki plat. Bann transmisyon limyè a lajè. Se poutèt sa, li se lajman ki itilize nan anpil domèn nan endistri, defans nasyonal ak rechèch syantifik. An menm tan an, li se tou yon bon materyèl substra pou limyè-emisyon dyod ak yon pakèt itilizasyon. Dyòd a jonksyon limyè ki kapab lakòz se materyèl ki pi pwomèt semi-conducteurs aparèy substra pou substrate safi substrate nan fanmi an wo-klète limyè-emisyon nan sous limyè fliyoresan pwochen jenerasyon an. Kounye a, sa yo gwo klète limyè-emisyon dyod yo te lajman itilize nan piblisite, limyè trafik, limyè enstriman; ak opere limyè ak lòt jaden. Avèk aplikasyon an ogmante nan gwo-klète limyè-emisyon dyod.
Sapphire (Sapphire) se yon sèl kristal alumina, ke yo rele tou corundum. Safi kristal gen ekselan pwopriyete optik, pwopriyete mekanik ak estabilite chimik, gwo fòs, dite segondè, ak rezistans ewozyon, epi li ka travay nan kondisyon difisil tou pre 2000 degre. Dapre rechèch, gen sèlman kat kalite materyèl substra ki ka aplike nan LED kounye a (gade Tablo 1 anba a). Kòm yon kristal teknik enpòtan, safi te fòme yon aplikasyon relativman alamòd ak matirite nan endistri a ki ap dirije.
2. Aplikasyon
Ou ka idantifye birefringans nòmal nan kristal safi lè l sèvi avèk mikwoskòp polarize Leica a. Nan sèten sikonstans, avèk èd nan lantiy konoskopik la, yo ka obsève entèferogram kristal la pou detèmine aksyalite kristal la, ki itilize pou obsève si direksyon chak wafer inifòm, konsa pou jije si substra a se. bon oswa move.
2. Aplikasyon nan mikwoskòp Leica ak optik mikwoskòp elektwon nan pwodiksyon an nan wafers epitaksi ki ap dirije ak pwosesis la preparasyon nan chips ki ap dirije.
1. Entwodiksyon ki ap dirije Wafer Epitaxial
Prensip debaz kwasans ki ap dirije epitaxial wafer se: sou yon substra (sitou safi, SiC, Si) chofe nan yon tanperati ki apwopriye, sibstans gaz InGaAlP la transpòte nan sifas substra a nan yon fason kontwole, ak yon fim espesifik kristal sèl grandi. . . Kounye a, teknoloji kwasans lan epitaxial ki ap dirije sitou adopte metòd depo vapè chimik òganik metal (MOCVD)
2. dirije chip entwodiksyon
Chips ki ap dirije, ke yo rele tou chips ki ap dirije limyè, se eleman debaz yo nan limyè ki ap dirije, ki refere a junction PN la. Fonksyon prensipal li se konvèti enèji elektrik nan enèji limyè, ak materyèl prensipal la nan chip la se Silisyòm monokristalin. Wafer Semiconductor se fè de pati, ak yon pati se semi-conducteurs P-kalite, ak twou okipe yon pozisyon dirijan nan li, ak lòt fen a se semi-kondiktè N-kalite, ak isit la sitou se elèktron. Men, tan sa yo de kalite semi-conducteurs koup ansanm, ant yo, jis fòme yon junction PN. Lè kouran elektrik aji sou chip sa a pa tan fil, elèktron pral pouse nan distri P, ak nan distri P, elèktron se ak rekonbinasyon twou, Lè sa a, pral voye enèji ak fòm nan foton, prensip la nan dirije luminesans ki Isit la li ye. Ak longèdonn limyè sa vle di koulè limyè a, dwe detèmine pa materyèl la fòme PN junction.
3. Aplikasyon:
a) Sèvi ak yon mikwoskòp elektwon optik pou detekte enfòmasyon mòfoloji korozyon debwatman nan avyon kristal apre kwasans lan nan wafer epitaxial la;
Siyifikasyon an bay nan mòfoloji a korozyon debwatman nan avyon an kristal: korozyon an debwatman nan chak echantiyon gen diferan fòm epi li detèmine pa gwoup la pwen nan kristal la ak estrikti a nan kristal la. Wòl etchant chimik la se detwi lyezon entèraksyon ant molekil ak atòm andedan kristal la. Sa yo ki gen pi piti lyezon yo detwi an premye, konsa fòme tach korozyon nan yon fòm espesifik. Se poutèt sa, bon D 'ak prezantasyon an pafè nan detay yo nan tach korozyon ka konplètman reflete bon jan kalite a nan kwasans kristal.
Amelyore bon jan kalite a nan lasi epitaxial la ak diminye domaj materyèl yo se kondisyon yo pou pwodwi segondè-pèfòmans ak segondè-fyab aparèy ki ap dirije, otreman li difisil pou fè moute pou li pa lòt mwayen. Enfliyans kalite kristal ki ap dirije materyèl epitaxial sou fyab aparèy la klarifye. Atravè kontwòl kalite materyèl epitaxial, li espere diminye dansite defo nan materyèl, amelyore kalite kristal kouch epitaxial ak efektivman amelyore fyab nan aparèy ki ap dirije.
b) Chip enspeksyon anvan anbalaj: Tcheke sifas materyèl la ak yon mikwoskòp optik pou detèmine si gen domaj mekanik ak pitting, si gwosè chip la ak gwosè elektwòd satisfè kondisyon pwosesis yo, epi si modèl elektwòd la konplè.
c) Ki ap dirije epesè oksidasyon chip: teknik deteksyon yo enkli konparezon koulè, konte kwen, entèferans, elipsomèt, mèt anplitid zegwi grave ak mikwoskòp elektwon optik;
d) Mezi pwofondè junction wafer chip la: deteksyon epesè pwofondè junction PN wafer chip ki ap dirije pa mikwoskòp elektwon optik la.
e) Aplikasyon an nan mikwoskospi elektwonik optik nan rechèch la nan teknoloji sifas ki graj nan pwosesis la grave nan chips ki ap dirije: teknoloji a roughening sifas rezoud pwoblèm nan nan refleksyon total nan limyè ak yon ang ensidan ki pi gran pase ang lan kritik paske endèks la refraktif nan semi-conducteurs. materyèl (mwayèn 3.5) pi gran pase lè a. Pèt la ki te koze pa sòti a. Emisyon limyè sou sifas ki grate a trè o aza, ak yon gwo kantite eksperyans yo bezwen etidye enfliyans nan echèl brutality ak brutality sou to emisyon limyè a. Lè limyè antre nan lè a ak yon endèks refraktif ki ba soti nan GaP, materyèl la nan kouch fenèt ki ap dirije a ak yon endèks refraktif segondè, refleksyon total ap fèt, ak yon gwo kantite limyè sortan yo pral pèdi. Metòd roughening sifas la ka siprime refleksyon total ak amelyore efikasite ekstraksyon limyè. Mikwoskòp elèktron optik la ka dirèkteman obsève estrikti sifas echantiyon an apre sifas ki grate, epi konpare brutality sifas la anvan ak apre yo fin grate. Mikwoskòp elektwon optik la gen yon gwo pwofondè nan jaden, ak imaj la plen ak twa dimansyon. Li ka obsève estrikti zile ki genyen twa dimansyon sou sifas ki graj la.
